ГОСТ 8.592-2009 - ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10-6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов.

Наименование документа:	ГОСТ 8.592-2009
Тип документа:	ГОСТ
Статус документа:	действующий (Введен впервые)
Название рус.:	ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Дата актуализации текста:	17.06.2011
Дата введения в действие:	01.11.2010
Дата добавления в базу:	17.06.2011
Разработан в:	ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" МФТИ (ГУ) ФГУ "Российский научный центр "Курчатовский институт"
Утверждён в:	Ростехрегулирование (05.04.2010)
Опубликован в:	Стандартинформ № 2010
Оглавление:	1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Геометрические формы и линейные размеры элементов рельефа 5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры Приложение А (справочное) Технологический процесс изготовления рельефной меры с использованием анизотропного травления Библиография
Расположен в:	Другие национальные стандарты 17 Метрология и измерения. Физические явления
Читать текст "ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления"